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반도체디스플레이

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  • 5
    • 300mm KWF-Series MORE VIEW >
    • 특      징 (Feature)
      미세화 대응 독립의 기류해석에 의한 청정공간의 확보 N2 Purge 대응(옵션)
      다양한 용기에 대응 FOUP, AUTO-FOSB에 표준 대응
      높은 신뢰성 신뢰성 확보(MCBF 100만 Cycle)
      Maintenance성 향상 Particle-less이므로, Maintenance성이 대폭으로 향상
  • 4
    • 450mm KWF-Series MORE VIEW >
    • 특      징 (Feature)
      미세화 대응 독립의 기류해석에 의한 청정공간의 확보 N2 Purge 대응(옵션)
      다양한 용기에 대응 FOUP, MAC에 표준대응
      높은 신뢰성 신뢰성 확보(MCBF 100만 Cycle)
      Maintenance성 향상 Particle-less이므로, Maintenance성이 대폭으로 향상
  • 3
    • 200mm KWO-Series MORE VIEW >
    • 특      징 (Feature)
      카세트 반송 Arm Type 프로세스 장비로 카세트를 반송하는 틸트기구가 있는 Arm 탑재
      높은 크린 성능 기구부의 격리와 강제배기에 의한 Particle 저감
      기류제어로 Particle의 혼입방지 개폐동작의 제어에 의한 난류/혼입 방지
  • 2
    • 200mm KWY-Series MORE VIEW >
    • 특      징 (Feature)
      매뉴얼 개폐 Type 오퍼레이터에 의한 용기의 개폐를 서포트
      높은 크린 성능 기구부의 격리와 강제배기에 의한 Particle 저감
      기류제어로 Particle의 혼입 방지 개폐동작의 제어에 의한 난류/혼입 방지
      Reticle POD 대응 RSP-200규격용기의 개폐까능(옵션)
  • 1
    • 200mm KWP-Series MORE VIEW >
    • 특      징 (Feature)
      상위장비에 의한 자동 개폐 Type 상위장비에 Docking하는 것으로, 미니환경을 실현
      높은 크린 성능 기구부의 격리와 강제배기에 의한 Particle 저감
      기류제어로 Particle의 혼입 방지 개폐동작의 제어에 의한 난류/혼입 방지
      Small Foot Print Small Foot Print의 실현에 의한, 전용기의 접속/내장이 용이
      Reticle POD 대응 RSP-200규격용기의 개폐까능(옵션)