제품소개
Load Port
미세화 대응 실적다수, N2 Purge, 200mm CST에도 대응
특장점
| 수용 가능한 장치의 소형화 |
입자를 방지하기 위한 고유한 기류 분석. 로드 포트의 N2 퍼지. |
|---|---|
| 다양한 운송업체 수용 | FOUP, MAC 및 AUTO-FOSB를 수용합니다. |
| 높은 신뢰성 |
300mm 로드포트의 축적된 기술력으로 높은 신뢰성을 실현하였습니다. (MCBF:1,000,000사이클) 고정밀 매핑으로 이중 또는 교차 웨이퍼를 감지합니다. 캐리어를 완전히 닫기 위해 오버 로테이션을 걸쇠를 겁니다. |
| 쉬운 유지 보수 | 배터리를 사용하지 않으며 유지 보수가 훨씬 쉽습니다. |
300mm / 450mm에서 축적된 기술을 전승
특장점
| 미세화에 대한 대응 |
독자적인 기류해석에 의한 청정도 확보 N2 Purge Option, N2 Shield Option 등 대응 |
|---|---|
| 다양한 용기에 대응 |
FOUP, 200mm CST, Auto-Fosb, Open CST 등 다양한 용기에 대응 |
| 높은 신뢰성 |
축적된 기술을 탑재하여 높은 신뢰성 확보 높은 정밀도의 Mapping 기능으로 다양한 Wafer 상태 검출 Latch Key over-rotation 기능으로 확실하게 용기 폐쇄 |
| Maintenance 성의 향상 | Battery 를 사용하지 않아 Maintenance 성을 대폭으로 향상 |
상위장치에 의한 자동개폐 Type
특장점
| 수용 가능한 장치의 소형화 |
입자를 방지하기 위한 고유한 기류 분석. 로드 포트의 N2 퍼지. |
|---|---|
| 다양한 운송업체 수용 | FOUP, MAC 및 AUTO-FOSB를 수용합니다. |
| 높은 신뢰성 |
300mm 로드포트의 축적된 기술력으로 높은 신뢰성을 실현하였습니다. (MCBF:1,000,000사이클) 고정밀 매핑으로 이중 또는 교차 웨이퍼를 감지합니다. 캐리어를 완전히 닫기 위해 오버 로테이션을 걸쇠를 겁니다. |
| 쉬운 유지 보수 | 배터리를 사용하지 않으며 유지 보수가 훨씬 쉽습니다. |