제품소개

Robot

Atmospheric type robot AR-Wn180CL Series

경량화 ∙ Space Saving ∙ 고속 Transfer 실현 ∙ 다단 장치에 대응

특장점

풍부한 변형 단일 암, 플립 축이 있는 단일 암, 트윈 암, 단일 암 플립 축이 있는 트윈 암, 기타
긴 스트로크 승강 축 지원 텔레스코픽 승강 축을 사용한 추가
940mm 길이의 스트로크 변형
배터리 무료 새 엔코더를 사용하여 엔코더 백업 배터리를 제거합니다.
처리량 향상 Hirata가 독자적으로 개발한 이동 제어 기능의 개선으로 부드럽고 지속적인 움직임을 실현합니다.
진동 억제 제어 Hirata가 독자적으로 개발한 진동 억제 제어를 사용하여 기계적 진동을 억제합니다.
Atmospheric type robot AR-Wn180CL-5-TR-940

특장점

풍부한 변형 단일 암, 플립 축이 있는 단일 암, 트윈 암, 단일 암 플립 축이 있는 트윈 암, 기타
긴 스트로크 승강 축 지원 텔레스코픽 승강 축을 사용한 추가
940mm 길이의 스트로크 변형
배터리 무료 새 엔코더를 사용하여 엔코더 백업 배터리를 제거합니다.
처리량 향상 Hirata가 독자적으로 개발한 이동 제어 기능의 개선으로 부드럽고 지속적인 움직임을 실현합니다.
진동 억제 제어 Hirata가 독자적으로 개발한 진동 억제 제어를 사용하여 기계적 진동을 억제합니다.
Vacuum type robot AR-Wn Series

300mm / 450mm Wafer 겸용
고진공 고정밀도, 고속동작, 고신뢰성으로 Arm Variation도 풍부

특장점

수용 가능한 장치 소형화 0.1G 미만의 진동을 억제하기 위해 Direct Drive 모터를 채택했습니다.
측면 진동과 드리프트를 억제하기 위해 스틸 벨트를 채택합니다.
높은 처리량 견고하고 정확하며 빠른 로봇으로 높은 처리량을 달성합니다.
전송 시간을 단축하는 스마트 모션.
높은 신뢰성 자성 유체에 대한 산란 가능성이 없습니다.
팔 손상을 최소화하고 복원 시간을 단축하기 위한 충돌 감지.
쉬운 유지 보수 데이터 백업 배터리를 제거하고 유지 보수가 용이하도록 특수 앱솔루트 엔코더가 채택되었습니다.
진동 억제 제어 Hirata가 독자적으로 개발한 진동 억제 제어를 사용하여 기계적 진동을 억제합니다.