Aligner | 제일인터내셔널

높은 수준의 청결도 성능	접촉 면적을 최소화하여 입자 생성을 억제합니다.
고속 정렬	비접촉식(센서 시스템), 방향 플랫 타입 및 노치 타입 웨이퍼 지원 얼라인먼트 시간 2초 이하의 고속 처리와 ±0.2°의 보정 정확도로 고급 얼라인먼트를 실현합니다.

높은 수준의 청결도 성능

접촉 면적을 최소화하여 입자 생성을 억제합니다.

고속 정렬

비접촉식(센서 시스템), 방향 플랫 타입 및 노치 타입 웨이퍼 지원 얼라인먼트 시간 2초 이하의 고속 처리와 ±0.2°의 보정 정확도로 고급 얼라인먼트를 실현합니다.

높은 수준의 청결도 성능	접촉 면적을 최소화하여 입자 생성을 억제합니다.
고속 정렬	비접촉식(센서 시스템), 방향 플랫 타입 및 노치 타입 웨이퍼 지원 얼라인먼트 시간 2초 이하의 고속 처리와 ±0.2°의 보정 정확도로 고급 얼라인먼트를 실현합니다.

높은 수준의 청결도 성능

접촉 면적을 최소화하여 입자 생성을 억제합니다.

고속 정렬

300 mm edge grip prealigner

Sensor 방식으로 비접촉, Particle 억제

특장점

높은 수준의 청결도 성능	웨이퍼 바닥에 닿지 않음으로써 입자 오염을 줄이는 가장자리 그립 메커니즘을 사용합니다.
빠른 속도, 높은 정확도	고해상도 절대 AC 서보 모터의 사용을 통한 고속 및 높은 정확도
고성능	웨이퍼 그립 센서를 통한 머무름 검사 지원, 전기 전도성 재료 및 전도성 재료 처리를 사용한 ESD 측정