EFEM / Sorter

특장점

프로세스 노드 확장 및 고급 통합 지원	Super Clean 기술로 프로세스 노드 확장 지원 N2 퍼지 기능으로 단시간에 대기를 교체할 수 있습니다.
다양한 변형, 사용자 정의 가능	확장 가능한 베이스 설계 덕분에 귀하의 요구 사항에 대응할 수 있습니다.
기록에 기반한 신뢰성	40,000대 이상의 납품 기록으로 뒷받침되는 로봇 기술을 계승합니다. 5년 유지 보수가 필요 없음
처리량	당사의 독점적인 모션 기술로 시간당 500개의 웨이퍼의 높은 처리량을 달성합니다.
환경 부담 감소	배터리가 필요 없는 서보 모터

특장점

프로세스 노드 확장 및 고급 통합 지원	Super Clean 기술로 프로세스 노드 확장 지원 N2 퍼지 기능으로 단시간에 대기를 교체할 수 있습니다.
다양한 변형, 사용자 정의 가능	확장 가능한 베이스 설계 덕분에 귀하의 요구 사항에 대응할 수 있습니다.
기록에 기반한 신뢰성	40,000대 이상의 납품 기록으로 뒷받침되는 로봇 기술을 계승합니다. 5년 유지 보수가 필요 없음
처리량	당사의 독점적인 모션 기술로 시간당 500개의 웨이퍼의 높은 처리량을 달성합니다.
환경 부담 감소	배터리가 필요 없는 서보 모터